如果一批lot裡面有做工程實驗時,用Fit Y by X也可以用來比較實驗結果。其實一般也是用Excel來做實驗結果的整理。但我個人比較喜歡JMP表現出來的感覺,而且它比Excel稍微簡單一點。

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現在這裡有四個實驗樣本,每個樣本有25筆數據。要做出NMOS跟PMOS的相對關係,按照一般的做法,會得到下面的圖形。

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我在前面提過,JMP所完成的圖形,大多是單色。這裡使用Nonpar Density來畫圖,我是用這個來表現NMOS跟PMOS兩者之間的分布關係。

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得出來的圖形如下。這是全部的資料的分布圖狀況。

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JMP會將這些數據分類為10份,依據出現的機率加以上色。像標為紅色的0.9,就表示有90%的數據都在紅色的圈外面。簡單的說,這就是可以看到數據的分布關係。

當然,如果這樣就把報告交出去一定會被K,還要將數據跟實驗狀況做一個結合。這裡要用到的是Grouping Variable。這裡用的是Wafer。

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選完後要再做一次Nonpar Density,如果沒選到,就會跟上一張圖一樣。

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出來變成這樣,多了wafer 的分類。

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當然這樣交出去還是會被唸,所以只好用人工將各wafer分開。但最後的結果是很棒的!

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Excel也是可以做到把各實驗條件的數據單獨呈現出來,但因為Excel很聰明,會依照數據的範圍,自動決定座標軸的大小,所以很多時候都要改來改去,如果沒改到還會被笑,我因為這樣被笑過一次。用JMP的這種作法,座標軸會是一樣的。而且,可以檢視數據的分布狀況。我認為如果分布的圖形很奇怪,像WAFER #1 & #4,或許會隱藏不均勻的現象在裡面,可以在第一時間去找其他的資料來佐證。

如果要做成傳統的線性圖形,也是可以的,作法就不另外介紹了。

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最後,附上這個圖形的介紹,來源是JMP的官方資料。

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