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一個測試會出現很多參數,不過這些參數彼此之間的關連性如何?或是測試的參數與製程的條件有多強的關連性?如果只有兩三個參數,用Excel做是很簡單的,但是如果有20個參數? 嗯…To be or not to be…

JMP裡面有一個Correlation of Y’s可以迅速求得這個答案。

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由前篇提到,當進行完工程實驗後,可以用數據的分布圖來表現結果,但照公司的立場,做實驗就是為了要改善,如果要決定哪一種條件需要改善,要改善多少,要如何由實驗資料決定?這裡要介紹的是Contour Plot。

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如果一批lot裡面有做工程實驗時,用Fit Y by X也可以用來比較實驗結果。其實一般也是用Excel來做實驗結果的整理。但我個人比較喜歡JMP表現出來的感覺,而且它比Excel稍微簡單一點。

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現在這裡有四個實驗樣本,每個樣本有25筆數據。要做出NMOS跟PMOS的相對關係,按照一般的做法,會得到下面的圖形。

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前篇提到Fit Y by X這個功能,當然接下來就是要提到雙參數間的關係。其實在Excel上,也有這個功能。

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這裡用最簡單的檔案,有X-Y兩個參數,共有25筆。之所以特別標起來是因為等下會有變化。接著畫圖。

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其實,JMP的功能,園區很多公司在自己的資訊系統上都有,包括我上一家公司,大概是客戶會順便用到。不過,JMP的好處是,只要PC就可以完成,不必受限於伺服器的運作狀況。

前篇提到用Control Chart來做單一參數的比較,這次是用正統的Fit Y by X來做比較。當一批lot有些良率OK,有些不好,就可以用這種方法來比較。按鍵如下所示。

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